Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Gravure humide / Gravure de silicium
Akrion GAMA alkali bench
Fournisseur :
Modèle :
Fonction :
Fournir le nettoyage chimique humide de la plaquette, la préparation de la surface et la gravure
CAPACITÉ:
Opération d’entrée / sortie automatisée de pod SMIF de séchage / séchage;
Le mini-environnement dans un banc humide garantit des performances de salle blanche de classe 1 sur la surface de la plaquette;
Surveillance des particules en temps réel dans les réservoirs chimiques;
Traitement de plusieurs lots / recettes (jusqu’à 4 recettes sur un seul banc en même temps);
Haut débit et faible coût par tranche;
Analyse chimique en temps réel et ajustements de concentration:
