Yield Engineering – YES PBV200 Vertacure

Yield Engineering – YES PBV200 Vertacure

Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Lithographie / Cuisson de résine

Yield Engineering – YES PBV200 Vertacure

Fournisseur :

Modèle :

Fonction :

Recuit / Cuisson / Cuisson sous température contrôlée et pression sous-atmosphérique

CAPACITÉ:    

Taille de la tranche: 200 mm

Tranches de production par chargement: 50

Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1700 µm

Plage de température: 20°C à 450 ° C

Plage de pression: 0.1 – 500 Torr

Gaz utilisés: oxygène, azote, gaz de formage (H2 4% et N2 96%)

Matériau de la plaquette: silicone, verre, tranches collées

Procédés:

  • Cuisson de photo-résine
  • Polymérisation des polymères
  • Déshydratation des tranches
  • Sublimation de film de tranche
  • Cycles de glaçure à fritte de verre
  • Résistances à couches minces traitements thermiques

Pour obtenir plus d'information sur cet équipement, rejoignez-nous par courriel!

RECHERCHE

Mots-clés
Catégorie

En naviguant sur notre site, certains témoins peuvent être conservés dans votre navigateur ou récupérés à partir de celui-ci. Ces informations peuvent porter sur vous, vos préférences ou votre appareil et sont principalement utilisées pour s'assurer que le site fonctionne correctement. Les informations ne permettent pas de vous identifier directement, mais peuvent vous permettre de bénéficier d'une expérience Web améliorée. Parce que nous respectons votre vie privée, nous vous donnons l'opportunité de ne pas autoriser ces témoins.

Close Popup
Paramètres de confidentialité sauvegardés !
Paramètres de confidentialité

En naviguant sur notre site, certains témoins peuvent être conservés dans votre navigateur ou récupérés à partir de celui-ci. Ces informations peuvent porter sur vous, vos préférences ou votre appareil et sont principalement utilisées pour s'assurer que le site fonctionne correctement. Les informations ne permettent pas de vous identifier directement, mais peuvent vous permettre de bénéficier d'une expérience Web améliorée. Parce que nous respectons votre vie privée, nous vous donnons l'opportunité de ne pas autoriser ces témoins.


Google Analytics
Nous suivons les informations utilisateur anonymisées pour améliorer notre site Web.
  • _ga
  • _gid
  • _gat
  • NID
  • 1P_JAR
  • DV

Refuser
Save
Accepter