Nordson March AP1000

Nordson March AP1000

Packaging assembly laboratory / Underfill / Plasma etch

Nordson March AP1000

Supplier :

Model :

Purpose :

Plasma cleaning

CAPABILITY:

Stainless steel vacuum chamber 18 W x24 H x 18 D inches

One electrode technology shelf-sets with 14 positions

Electrodes are aluminum using ceramics insulators

13.56 MHz RF generator has automatic impedance matching

Power shelf working dimensions 13.74 W x 16.73 D  inches

Ground shelf working dimensions 15.1 W x 16.73 D inches

Automatic RF tuning network, use a L-C tuning network

Gas control with 4 mass flow controllers

Oxygen, argon and nitrogen gas currently available

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