SPT Micro AVP-8200 TEOS

SPT Micro AVP-8200 TEOS

Integrated microsystems laboratory (MEMS) / Thin film deposition / Low pressure chemical vapour deposition / TEOS

SPT Micro AVP-8200 TEOS

Supplier :

Model :

Purpose :

Vertical furnace for low pressure chemical vapour deposition of TEOS thin film

CAPABILITY:

Film thickness: 300 ± 30 nm, and 2000 ± 200 nm

Within wafer thickness non-uniformity: 2.5% (1 sigma)

Wafer-to-wafer thickness non-uniformity: 2.2% (1-sigma)

Wafer size: 150 mm, 200 mm

Production wafers per load: 100

Thickness range of wafers: 300 – 1700 µm

TEOS deposition rate: 6 nm/min

Chamber configuration : Cross-flow

Gases used: TEOS, Oxygen

TEOS mass flow control: ±0.1 sccm of the target flow-rate.

Automated in-situ cleaning capability using nitrogen trifluoride

To obtain more information about this equipment, email us !

SEARCH

Keywords
Category

En naviguant sur notre site, certains témoins peuvent être conservés dans votre navigateur ou récupérés à partir de celui-ci. Ces informations peuvent porter sur vous, vos préférences ou votre appareil et sont principalement utilisées pour s'assurer que le site fonctionne correctement. Les informations ne permettent pas de vous identifier directement, mais peuvent vous permettre de bénéficier d'une expérience Web améliorée. Parce que nous respectons votre vie privée, nous vous donnons l'opportunité de ne pas autoriser ces témoins.

Close Popup
Privacy Settings saved!
Paramètres de confidentialité

En naviguant sur notre site, certains témoins peuvent être conservés dans votre navigateur ou récupérés à partir de celui-ci. Ces informations peuvent porter sur vous, vos préférences ou votre appareil et sont principalement utilisées pour s'assurer que le site fonctionne correctement. Les informations ne permettent pas de vous identifier directement, mais peuvent vous permettre de bénéficier d'une expérience Web améliorée. Parce que nous respectons votre vie privée, nous vous donnons l'opportunité de ne pas autoriser ces témoins.


Technical cookies
To use this website, we use the following cookies which are technically necessary
  • wordpress_test_cookie
  • wordpress_logged_in_
  • wordpress_sec

Refuser
Save
Accepter