Akrion GAMA acid bench

Akrion GAMA acid bench

Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Gravure humide / Gravure d'oxide, nitride et aluminium

Akrion GAMA acid bench

Fournisseur :

Modèle :

Fonction :

Fournir le nettoyage chimique humide de la plaquette, la préparation de la surface et la gravure

CAPACITÉ:    

Opération d’entrée / sortie automatisée de pod SMIF de séchage / séchage;

Le mini-environnement dans un banc humide garantit des performances de salle blanche de classe 1 sur la surface de la plaquette;

Surveillance des particules en temps réel dans les réservoirs chimiques;

Traitement de plusieurs lots / recettes (jusqu’à 4 recettes sur un seul banc en même temps);

Haut débit et faible coût par tranche;

Analyse chimique en temps réel et ajustements de concentration:

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