CAPACITÉ:    

5X Stepper Aligner

Résolution jusqu’à 350 nm

Alignement avant-avant: 50 nm, 3 sigma

Alignement dos à dos: 80 nm, 3 sigma

Alignement avant-arrière: 210 nm, 3 sigma

Interface directe avec la piste de développement de revêtement TEL

Expositions de film sec