CAPACITÉ:    

Possède une interface directe avec le stepper ASML

Adapté à la distribution de photo-résine positive ou négative

KMPR-1005 (1002), avec parois à 90 °

OIR-647-17 (11), murs droits

Permet à la cyclopentanone ou au HMDS de pré-mouiller pour les photo-résines concernées

Développe des résines positives et négatives

Comprend des capacités de cuisson douce et post-exposition

Développe des films secs