CAPACITÉ:    

Taille de la tranche: 200 mm

Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1200 µm

Matériau de la tranche: silicone, verre

Entièrement qualifié pour le silicium via le processus AquiViaTM sous licence d’Alchimer, avec les modules suivants:

• Module 1: Prémouillage des tranches de Si avec des vias de rapport d’aspect 20: 1
• Module 2: Greffage chimique d’un film isolant 0,2-1,0 µm
• Module 3: Activation de l’isolation pour Ni (B)
• Module 4: Barrière de diffusion Ni (B) sans courant
• Module 5: Cu électrocharge en 50: 5µm et 100: 5µm TSV
• Module 6: Recuit de tranche
• Module 7: galvanoplastie eutectique 80Au / 20Sn