Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Décollage de tranches / Décollage à sec
Electronic SRL Leonardo 300LO
Fournisseur :
Microcontrol Electronic
Modèle :
Leonardo 300 LO
Fonction :
Procédés de décollage et de détachement à sec
CAPACITÉ:
Taille de la tranche: 200 mm
Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1200 µm
Matériau de la tranche: silicone, verre, plaquettes liées
Procédés:
- Décollage à sec de couches métalliques (SAES Getters et Au) déposées sur un matériau de type PerMX
- Retrait du ruban de protection
