SPTS Versalis FxP ISOPOD module

SPTS Versalis FxP ISOPOD module

Integrated microsystems laboratory (MEMS) / Dry etching / 02 plasma polymers strip

SPTS Versalis FxP ISOPOD module

Supplier :

Model :

Purpose :

Dry etch cluster tool

CAPABILITY:

Isopod – in-situ resist removal

In-situ strip for corrosion prevention

Isotropic polyimide removal (dry release)

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