SPTS Versalis FxP APS module

SPTS Versalis FxP APS module

Integrated microsystems laboratory (MEMS) / Dry etching / Dielectric etch

SPTS Versalis FxP APS module

Supplier :

Model :

Purpose :

Dry etch cluster tool

CAPABILITY:

Dielectric etch module

Tailored  chamber design to increase the process stability

Plasma density necessary for the successful etching of strongly bonded materials

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