Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Gravure sèche / Décapage
SPTS Versalis FxP ISOPOD module
Fournisseur :
SPTS
Modèle :
Versalis FxP ISOPOD module
Fonction :
Outil de gravure sèche à chambres multiples
CAPACITÉ:
Isopode – élimination des résistances in situ
Bande in situ pour la prévention de la corrosion
Élimination des polyimides isotropes (libération à sec)
