CAPACITÉ:

Lampe UV multi faisceaux de 365nm

Rainure simple passe de 60 µm de large

Capacité d’épaisseur d’échantillon jusqu’à 1.5mm

Capacité de découpe jusqu’à 300µm d’épaisseur

Type d’échantillon :

• Grandeurs de puce multiples sur une même tranche
• Tranche brisée

Découpe laser de bord de tranche

Stations de nettoyage et de revêtement intégrées

Précision de positionnement : 2µm

Vitesse maximale des axes x, y : 500 mm/s

Type de cadre : FF123