McBain DDR2000 SWIR

McBain DDR2000 SWIR

Integrated microsystems laboratory (MEMS) / Metrology / Inspection Infrared: multilayer and overlay measurement

McBain DDR2000 SWIR

Supplier :

Model :

Purpose :

Infra-Red Monitoring of the alignment/lateral dimension and defects inside bonded wafer stacks

CAPACITY:

Wafer size: 200 mm

Thickness range of wafers: 300 – 1700 µm

Wafer types: Silicon, Glass, Bonded Si-to-Si wafer stacks, Bonded Si-to-Glass stacks

Bonding interface overlay measurement

Bonding voids inspection

Multilayer overlay measurements

Lateral dimension inside wafer stacks

Inside cavity or TSV defect inspection

Wafer stress imaging by Scanning Infrared Depolarization (SIRD)

Infra-Red inspection and metrology of perforated wafers

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