McBain DDR2000 SWIR

McBain DDR2000 SWIR

Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Métrologie / Inspection infrarouge

McBain DDR2000 SWIR

Fournisseur :

Modèle :

Fonction :

Surveillance infrarouge de l'alignement / dimension latérale et des défauts à l'intérieur des empilements de tranches collées

CAPACITÉ:    

Taille de la tranche: 200 mm

Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1700 µm

Types de tranches: silicium, verre, piles de plaquettes Si-to-Si liées, piles de Si-to-Glass liées

Mesure de superposition d’interface de liaison

Inspection des vides dans le collage

Mesures de superposition multicouche

Dimension latérale à l’intérieur des piles de tranches

Inspection de la cavité intérieure ou du défaut TSV

Imagerie du stress des tranches par dépolarisation infrarouge à balayage (SIRD)

Inspection et métrologie infrarouge des tranches perforées

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