Laboratoire d'assemblage de semi-conducteurs / Découpage de tranches / Exposition UV
Lintec RAD 2000m12
Fournisseur :
Modèle :
Fonction :
Réduire la force d’adhésion du film de découpe
CAPACITÉ:
Irradiation sur une section de tranche : 310 mm Ø
Irradiation sur toute la surface : 382 mm Ø
Dimension de cadre applicable : 300 mm Ø, standard SEMI ou équivalent
Lampe :
- HHL-2800/B-FL
- type sans ozone
- longueur d’onde dominante de 365 nm
- puissance maximale de 2.8 kW
Illuminateur UV : 120 mW/cm2
Concentration d’oxygène durant l’irradiation: 5% ou moins
