Lintec RAD 2000m12

Lintec RAD 2000m12

Laboratoire d'assemblage de semi-conducteurs / Découpage de tranches / Exposition UV

Lintec RAD 2000m12

Fournisseur :

Modèle :

Fonction :

Réduire la force d’adhésion du film de découpe

CAPACITÉ:

Irradiation sur une section de tranche : 310 mm Ø

Irradiation sur toute la surface : 382 mm Ø

Dimension de cadre applicable : 300 mm Ø, standard SEMI ou équivalent

Lampe :

  • HHL-2800/B-FL
  • type sans ozone
  • longueur d’onde dominante de 365 nm
  • puissance maximale de 2.8 kW

Illuminateur UV : 120 mW/cm2

Concentration d’oxygène durant l’irradiation: 5% ou moins

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