Laboratoire analytique / Analyses de surface / Microscope électronique à balayage (SEM)
Microscope électronique à balayage (SEM) Zeiss GeminiSEM 560
Fournisseur :
Zeiss
Modèle :
GeminiSEM 560
Fonction :
Caractérisation de surface et analyse chimique élémentaire
CAPACITÉS :
Résolution :
- 0,5 nm @ 15 kV
- 0,8 nm @ 1 kV
- 1,0 nm @ 500 V
Grossissement: 1X à 2000000X
Canon à électrons: Émission de champs (Schottky)
Courant de sonde: 3 pA à 20 nA
Tension d’accélération : 0,02 – 30 kV
Mode pression variable (10 à 60 Pa)
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Détecteur d’électrons secondaires Everhart-Thornley Détecteur d’électrons secondaires dans la lentille (InLens) |
| Détecteur d’électrons rétrodiffusés BxE
Détecteur d’électrons rétrodiffusés (aBSD4) |
| Détecteur VPSE (mode pression variable)
Platine X : 153 mm Y : 153 mm Z : 50 mm Z’ : 13 mm Inclinaison : -15 à 70 degrés Rotation : 360 degrés en continu
Détecteur de rayons X (EDS) : Oxford Ultim Max qui permet l’identification chimique élémentaire. |
