Laboratoire analytique / Laboratoire de gravure / Incinérateur plasma
March CS-1701 (RIE)
Fournisseur :
March
Modèle :
RIE CS-1701
Fonction :
Attaque de surface par plasma
CAPACITÉ:
Attaque chimique et conditionnement de surface par l’utilisation d’un plasma
Puissance: jusqu’à 600W
Gaz disponibles: N2, Ar, O2, CF4
Diamètre maximal de l’échantillon : 15 cm
