CAPACITÉS :

Chambre de traitement :

Matériau : aluminium

Volume : 91 litres

Dimensions intérieures : 450 x 450 x 450 mm (H x L x P)

Génération de plasma et débit de gaz : Génération de plasma à micro-ondes sur une grande surface

Pas d’électrodes à l’intérieur de la chambre

Débit de gaz variable en fonction de l’application

Génération de plasma à travers la paroi droite de la chambre

Échappement dans la paroi gauche de la chambre

Système de vide : Pression finale ≤ 10 -1 mbar

Pression de traitement env. 0,2 – 1,5 mbar

Générateur de plasma micro-ondes : magnétron à réglage continu, refroidi par air

Fréquence 2,45 gigahertz

Puissance maximale 1 000 watts

Plateforme rotative :

Matériau aluminium, Ø 350 mm

L’entraînement électrique démarre après la fermeture de la chambre de traitement

Régulateur de débit massique, jusqu’à 4 canaux de gaz possibles. Actuellement O2 et argon