CAPACITÉS : 

Volume utile : 53,3 cm (H) x 36,8 cm (L) x 68,6 cm (P)

9 étagères en quartz dans la chambre

Électrode sur le côté de la chambre

Contrôlé par PC

Deux conduites de gaz avec régulateurs de débit massique individuels et vannes d’isolement (O2 à déterminer)

Commandes de ventilation rapide et lente

Mesure de pression par manomètre à capacité dans la plage 0-2 Torr.

Mesure de pression Convectron de 2 Torr. à la pression atmosphérique

Générateur à semi-conducteurs 0-600 watts, 13,56 MHz

Réseau d’adaptation d’impédance automatique avec réglage automatique rapide