CAPACITÉ:    

Taille de la tranche: 200 mm

Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1200 µm

Types de tranches: Silicium, Verre, tranches perforées, tranches avec trous traversants en silicium, tranches en dés sur cadre de film.

Inspection à 100% sur le devant, les bords et l’arrière

Rapport d’aspect élevé grâce au silicium via inspection

Inspection en fond clair et en fond noir

Flexibilité de résolution: 0,5 µm – 10 µm

Autofocus laser pour les tranches arquées

Détecte les défauts de boursouflure, la boue, les contaminants de nettoyage et les films résiduels

Effectue la métrologie automatisée de suppression des billes de contour

Détecte les copeaux et les fissures, les défauts de délaminage, les particules arrière, les résidus indésirables, les rayures et les agrégats de défauts

Classification et regroupement des défauts à la volée