SPT AVP-9200 Oxyde

SPT AVP-9200 Oxyde

Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Dépôt de couche mince / Diffusion / Oxydation

SPT AVP-9200 Oxyde

Fournisseur :

Modèle :

Fonction :

Four vertical pour la croissance de couches minces d'oxyde de silicium humide/sec et le recuit d'hydrogène

CAPACITÉ:    

Épaisseur d’oxyde thermique: 140 ± 6 nm et 900 ± 20 nm

Non uniformité de l’épaisseur de la tranche: 0,5% (1 sigma)

Non-uniformité d’épaisseur de tranche à tranche: 0,4% (1 sigma)

Taille de la tranche: 150 mm, 200 mm

Tranches de production par chargement: 100

Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1700 µm

Plage de température: 950 ° C – 1150 ° C

Configuration de la chambre: Cross-flow

Gaz utilisés: oxygène, hydrogène, azote, TransLC

Contrôle du débit massique: ± 5 sccm du débit de gaz cible

Environnement de recuit: hydrogène / oxygène

Matériau de la tranche: silicium, silicium sur isolant (SOI)

Pour obtenir plus d'information sur cet équipement, rejoignez-nous par courriel!

RECHERCHE

Mots-clés
Catégorie

En naviguant sur notre site, certains témoins peuvent être conservés dans votre navigateur ou récupérés à partir de celui-ci. Ces informations peuvent porter sur vous, vos préférences ou votre appareil et sont principalement utilisées pour s'assurer que le site fonctionne correctement. Les informations ne permettent pas de vous identifier directement, mais peuvent vous permettre de bénéficier d'une expérience Web améliorée. Parce que nous respectons votre vie privée, nous vous donnons l'opportunité de ne pas autoriser ces témoins.

Close Popup
Paramètres de confidentialité sauvegardés !
Paramètres de confidentialité

En naviguant sur notre site, certains témoins peuvent être conservés dans votre navigateur ou récupérés à partir de celui-ci. Ces informations peuvent porter sur vous, vos préférences ou votre appareil et sont principalement utilisées pour s'assurer que le site fonctionne correctement. Les informations ne permettent pas de vous identifier directement, mais peuvent vous permettre de bénéficier d'une expérience Web améliorée. Parce que nous respectons votre vie privée, nous vous donnons l'opportunité de ne pas autoriser ces témoins.


Google Analytics
Nous suivons les informations utilisateur anonymisées pour améliorer notre site Web.
  • _ga
  • _gid
  • _gat
  • NID
  • 1P_JAR
  • DV

Refuser
Save
Accepter