Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Gravure sèche / Gravure de métal
SPTS Versalis FxP ICP module
CAPABILITY:
Metal etch module
Patented high density plasma source incorporating a radial coil design
Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Gravure sèche / Gravure de métal
CAPABILITY:
Metal etch module
Patented high density plasma source incorporating a radial coil design