SPTS Versalis Rapier Module

SPTS Versalis Rapier Module

Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Gravure sèche / Gravure de silicium

SPTS Versalis Rapier Module

Fournisseur :

Modèle :

Fonction :

Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma de silicium amorphe, de nitrure de silicium et de tétraéthylorthosilicate (TEOS)

CAPACITÉ:    

Module SI DRIE

Source de plasma double brevetée avec zones de plasma découplées primaires et secondaires contrôlées indépendamment

Excellente uniformité

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