SPTS Versalis FxP ICP module

SPTS Versalis FxP ICP module

Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Gravure sèche / Gravure de métal

SPTS Versalis FxP ICP module

Fournisseur :

Modèle :

Fonction :

Dry etch cluster tool

CAPABILITY:

Metal etch module

Patented high density plasma source incorporating a radial coil design

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