Laboratoire d'assemblage de semi-conducteurs / Laboratoire opto / Impression
SYMPHONY 3D lithography system
Fournisseur :
Mycronics (Vanguard automation)
Modèle :
Sonata 1000 & Reprise 1000
Fonction :
Impression de guides d’onde optiques et de lentilles pour la photonique
CAPACITÉ:
Champs d’application
- Interconnection optique et passive entre deux composants :
- Fibres optiques
- Puces III-V (Laser, SOA, Modulateurs, etc.. )
- Si PICS (Guide d’onde : Si, SiN, TFLN)
- Impression de lentilles sur des guides d’ondes
- Pour focaliser le faisceau
- Pour collimater le faisceau
Specifications
- Volume d’impression : 300um (Largeur) x 300um (Profondeur) x 150um (Hauteur)
- Volume du Voxel : <1um³
- Longueurs d’onde compatibles : 850-1650nm
- Diamètres de mode compatibles : Ø2um – Ø15um
- Pertes réalisables : <2dB
- Scan confocal in-situ pour déterminer les structures topologiques et les guides d’onde
- Logiciel brightWire pour optimiser le trajet du guide d’onde entre les interfaces
- Développement automatisé du résist non-polymérisé
- Dépôt du dam & clad automatisé
