SYMPHONY 3D lithography system

SYMPHONY 3D lithography system

Laboratoire d'assemblage de semi-conducteurs / Laboratoire opto / Impression

SYMPHONY 3D lithography system

Fournisseur :

Modèle :

Fonction :

Impression de guides d’onde optiques et de lentilles pour la photonique

CHAMPS D’APPLICATION

Interconnexion optique et passive entre deux composants :

  • Fibres optiques
  • Puces III-V (Laser, SOA, Modulateurs, etc.. )
  • Si PICS (Guide d’onde : Si, SiN, TFLN)
  • Impression de lentilles sur des guides d’ondes
  • Pour focaliser le faisceau
  • Pour collimater le faisceau

 

SPÉCIFICATIONS

  • Volume d’impression : 300um (Largeur) x 300um (Profondeur) x 150um (Hauteur)
  • Volume du Voxel : <1um³
  • Longueurs d’onde compatibles : 850-1650nm
  • Diamètres de mode compatibles : Ø2um – Ø15um
  • Pertes réalisables : <2dB
  • Scan confocal in-situ pour déterminer les structures topologiques et les guides d’onde
  • Logiciel brightWire pour optimiser le trajet du guide d’onde entre les interfaces
  • Développement automatisé du résist non-polymérisé
  • Dépôt du dam & clad automatisé

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