TEL Tokyo Cleantrack ACT-8

TEL Tokyo Cleantrack ACT-8

Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Lithographie / Revêtement / développement

TEL Tokyo Cleantrack ACT-8

Fournisseur :

Modèle :

Fonction :

Distributeur et développeur de photo-résine

CAPACITÉ:    

Possède une interface directe avec le stepper ASML

Adapté à la distribution de photo-résine positive ou négative

KMPR-1005 (1002), avec parois à 90 °

OIR-647-17 (11), murs droits

Permet à la cyclopentanone ou au HMDS de pré-mouiller pour les photo-résines concernées

Développe des résines positives et négatives

Comprend des capacités de cuisson douce et post-exposition

Développe des films secs

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