CAPACITÉ:    

Résolution:

• 5 nm à 0,2 kV et à 2 mm WD
• 2,5 nm à 1 kV et à 2 mm WD
• 1,5 nm à 10 kV et à 2 mm WD
• 1 nm à 20 kV et à 2 mm WD

Grossissement: 20X à 900 000X

Courant de sonde: 4pA à 10nA

Canon à électrons: émission de champ thermique

Détecteurs:

• Dans l’objectif, type annulaire
• Externe: Type E-T monté dans la chambre
• Détecteur d’électrons rétrodiffusés Robinson

Tension d’accélération: 200V à 30kV

Stade de l’échantillon: Type: 6 axes entièrement eucentriques

Mouvements:

• X = 153 mm
• Y = 153 mm
• Z ’= 10 mm
• Z = 43 mm
• Inclinaison: -15˚à 65˚
• Rotation: 360˚ en continu

Échangeur d’échantillon Taille du sas: 210 mm x 50 mm

Chambre à échantillon:

• Diamètre intérieur: 520 mm
• Hauteur: 300mm

Détecteur EDS: Si (Li) (30 mm2) Prism 2000 avec système d’acquisition Imix permettant la détection de BE