CAPACITÉ: Épaisseur d’oxyde thermique: 140 ± 6 nm et 900 ± 20 nm Non uniformité de l’épaisseur de la tranche:
CAPACITÉ: Taille de la tranche: 200 mm Tranches de production par chargement: 50 Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1700
CAPACITÉ: Taille de la tranche: 200 mm Tranches de production par chargement: 50 Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1700