CAPACITÉ: 5X Stepper Aligner Résolution jusqu’à 350 nm Alignement avant-avant: 50 nm, 3 sigma Alignement dos à dos: 80 nm,
CAPACITÉ: 5X Stepper Aligner Résolution jusqu’à 350 nm Alignement avant-avant: 50 nm, 3 sigma Alignement dos à dos: 80 nm,