CAPACITÉ: Plateforme de métrologie modulaire: 300X300X200mm Précision: 3 µm (axe z) Spécifications technologiques: mfd 2nm / mm, sigma / step
CAPACITÉ: Plateforme de métrologie modulaire: 300X300X200mm Précision: 3 µm (axe z) Spécifications technologiques: mfd 2nm / mm, sigma / step