CAPACITY:

Fully automated mode

200mm wafers

X-axis :

• Feeding speed : 1.0 – 1000 mm/s

Y-axis :

• Index step : 0.1µm
• Position accuracy : 3µm

Z-axis :

• Moving resolution : 0.1µm
• Repeatability : 1µm

Axis :

• Max rotation : 380°