CAPACITÉS :

• Domaine d’application :
  • Mesure de l’épaisseur, du TTV, de la courbure (bow) et de la déformation (warp) à l’échelle de la tranche.
  • Profilomètre optique pour la mesure de la hauteur d’escalier et des dimensions critiques (CD).
  • Mesure de l’épaisseur de films transparents et semi-transparents.

• Développement flexible avec haute précision :
  • Caméra d’alignement avec reconnaissance automatique de motifs pour un positionnement répétable des mesures.
  • Peut être utilisé pour des plaquettes jusqu’à 300 mm, ou pour des puces individuelles.
  • Les échantillons sont placés entre une paire de capteurs alignés pour des mesures d’épaisseur simultanées.
  • Les tranches sont supportées par trois points de contact, sans succion.
  • Équipé de capteurs à lumière blanche chromatique offrant une résolution verticale jusqu’à 30 nm et une plage de mesure allant jusqu’à 3 mm.
  • Équipé d’un capteur de réflectométrie pour couches minces permettant la mesure de l’épaisseur de films transparents et semi-transparents entre 0,1 µm et 100 µm (longueurs d’onde de 205 nm à 1079 nm).