Ulvac Enviro 1Xa

Ulvac Enviro 1Xa

Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Gravure sèche / Décapage

Ulvac Enviro 1Xa

Fournisseur :

Modèle :

Fonction :

Ablation de polymère avancée en mode à une seule tranche

CAPACITÉ:

  • Choix des sources de plasma
  • Le gax de formage à 3.5% offre l’avantage de la catalyse pour la génération d’oxygène atomique dans le plasma
  • Possibilité de gaz supplémentaire pour l’élimination des polymères de procédé Bosch
  • Excellente uniformité et répétabilité
  • Haut débit
  • Détection de point final
  • Incinération très rapide d’une variété de polymères:

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