LiDAR, MICROMIROIR ET MICROFABRICATION

LiDAR, MICROMIROIR ET MICROFABRICATION

Nous vous présentons le deuxième épisode de notre
mini-série consacrée au LiDAR.

Note: LiDAR est l’abréviation de  »light detection and ranging » ou détection et télémétrie par la lumière.Au C2MI, nous avons tout ce qu’il vous faut pour fabriquer ce type de technologie!

Mais saviez-vous que la pièce maitresse de ces dispositifs est un miroir? En fait il s’agit d’un micromiroir de quelques centaines de micromètres fabriqué à l’aide des microtechnologies ou microfabrication.  La microfabrication est l’ensemble des techniques permettant de produire des dispositifs avec des structures de l’ordre du micromètre et en dessous. On distingue les techniques de microélectronique et ses dérivés, utilisés par exemple pour la fabrication des puces électroniques, des microsystèmes, et les autres techniques dérivant des techniques d’usinage traditionnelles. Pour la microélectronique, des plaquettes de silicium (tranches) sont utilisées comme substrat. On structure ensuite le dispositif par une succession d’étapes de dépôt et de mise en forme par photolithographie et gravure sèche ou humide pour créer des microstructures.
(Voir Infolettre Décembre 2021)

Le résultat est donc un micromiroir qui peut ainsi balayer un laser réfléchissant sur sa surface, le principe même du RADAR !

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