Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Lithographie / Cuisson UV de la résine
Axcelis Technologies
Fournisseur :
Axcelis Technologies
Modèle :
200PC
Fonction :
Irradiateur UV profond
CAPACITÉ:
Photo-stabilisateur DUV à chambre unique
Compatible avec les tailles de tranches de 200 mm et 150 mm;
Applications du processus de cuisson UV;
L’irradiateur contient une lampe à haute intensité Hg et des magnétrons 2,45 GHz
Stations à deux cassettes;
Haute puissance, 275 ± 45 mW / cm2, et faible puissance, 105 ± 30 mW / cm2, modes
Excellente uniformité
