Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Gravure sèche / Gravure dielectrique
SPTS Versalis FxP APS module
Fournisseur :
SPTS
Modèle :
Versalis FxP APS module
Fonction :
Dry etch cluster tool
CAPACITÉ:
Module de gravure diélectrique
Conception de chambre sur mesure pour augmenter la stabilité du processus
Densité de plasma nécessaire à la gravure réussie de matériaux fortement liés
