Laboratoire intégré des microsystèmes (MEMS) / Gravure sèche / Gravure dielectrique
SPTS Versalis FxP APS module
CAPACITÉ:
Module de gravure diélectrique
Conception de chambre sur mesure pour augmenter la stabilité du processus
Densité de plasma nécessaire à la gravure réussie de matériaux fortement liés
