Notre aligneuse sans masque DW-3000 atteint un débit supérieur à 30 plaquettes par heure (1 tête laser). Puisque cet équipement
CAPACITÉ: Photo-stabilisateur DUV à chambre unique Compatible avec les tailles de tranches de 200 mm et 150 mm; Applications du
CAPACITÉ: 5X Stepper Aligner Résolution jusqu’à 350 nm Alignement avant-avant: 50 nm, 3 sigma Alignement dos à dos: 80 nm,
CAPACITÉ: Taille de la tranche: 200 mm Tranches de production par chargement: 50 Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1700
CAPACITÉ Tranche jusqu’à 200 mm de diamètre Tranches de production par chargement: 50 Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1700
CAPACITÉ: Possède une interface directe avec le stepper ASML Adapté à la distribution de photo-résine positive ou négative KMPR-1005 (1002),