DW-3000 MASKLESS ALIGNER

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CAPABILITY Single chamber DUV Phototabilizer; Compatible with 200mm and 150mm wafers sizes; UV Bake process applications; Irradiator contains Hg high

7 February 2017

CAPABILITY: 5X Stepper Aligner Resolution down to 350 nm Front-to-front alignment: 50 nm, 3 sigma Back-to-back alignment: 80 nm, 3

7 February 2017

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