Fabrication de dispositifs quantiques

Fabrication de dispositifs quantiques

Le secteur de fabrication de dispositifs quantiques du C2MI offre un environnement spécialisé pour le développement de technologies émergentes basées sur les propriétés quantiques de la matière. Grâce à des équipements de microfabrication avancés, nos équipes travaillent à la réalisation de films supraconducteurs, de plateformes photoniques et d’autres dispositifs quantiques complexes, sur tranches de 200 mm. 

Ce secteur permet de développer des procédés adaptés aux exigences de l’informatique quantique, des capteurs ultra-sensibles et des systèmes de communication de nouvelle génération. En combinant précision, reproductibilité et expertise technique, le C2MI accompagne ses partenaires dans la transition de la recherche vers des applications manufacturières concrètes. 

Métrologie

Inspection infrarouge
Inspection de couches minces
Inspection des défauts et décompte des particules

Lithographie

Gravure sèche

Gravure de relâchement
Décapage
Gravure dielectrique
Gravure de métal
Gravure de silicium
Décapage

Gravure humide

Gravure de silicium
Gravure d'oxide, nitride et aluminium
Nettoyage de tranche

Collage de tranche

Collage de tranche

Dépôt de couche mince

Dépôt chimique phase vapeur à basse pression / LSN
Dépôt chimique phase vapeur par plasma
Diffusion / Oxydation
Dépôt de vapeur chimique à basse pression / TEOS
Dépôt chimique phase vapeur à basse pression / ISDP

Traitement thermique

Traitement thermique
Pression sous-atmosphérique
Fournaise de soudure de bille

Polissage chimique / mécanique

Polissage et planarisation

Décollage de tranches

Décapage de résine

Décapage de résine
Décapage de résine
Décapage de résine

Manutention des tranches

Placage

Electrodeposition

RECHERCHE

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