CAPACITÉ: Nettoyage au plasma uniforme et rapide Méthode de contre-pulvérisation RF à plaques parallèles Gaz : O2 10 ml/min à 100
CAPACITÉ: Volume de la chambre : 127 litres Dimensions de la chambre : 18 La x 24 H x 18 Lo
CAPACITÉ: Nettoyage au plasma uniforme et rapide Méthode de contre-pulvérisation RF à plaques parallèles Gaz : O2 10 ml/min à 100
CAPACITÉ: Volume de la chambre : 127 litres Dimensions de la chambre : 18 La x 24 H x 18 Lo