CAPACITÉ:     Épaisseur du film: 135 ± 6,7 nm et 300 ± 45 nm Non-uniformité de l’épaisseur de la tranche: 1%

CAPACITÉ:     Taille de la tranche: 200 mm Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1200 µm Plage de température: 100 –

CAPACITÉ:     Épaisseur d’oxyde thermique: 140 ± 6 nm et 900 ± 20 nm Non uniformité de l’épaisseur de la tranche:

CAPACITÉ:     Épaisseur du film: 300 ± 30 nm et 2000 ± 200 nm Non-uniformité de l’épaisseur de la tranche: 2,5%

CAPACITÉ:   Épaisseur du film: 330 ± 15 nm, 1550 ± 50 nm et 2050 ± 75 nm Non-uniformité de l’épaisseur