CAPACITÉ:     Entrée / sortie en plateau JEDEC Précision : +/- 3 µm @ 3 sigma, cpk 1,33 Fonction d’étalonnage automatique pour

CAPACITÉ:     Idéal pour le développement de produits et de processus Placement, capacité de liaison par thermocompression Gaz disponibles : H2/N2, acide