CAPACITÉ: Nettoyage au plasma uniforme et rapide Méthode de contre-pulvérisation RF à plaques parallèles Gaz : O2 10 ml/min à 100
CAPACITÉ: Entrée/sortie en plateau Jedec Système de portique à plusieurs axes (cartésien) avec deux têtes indépendantes. Précision de placement X-Y :
CAPACITÉ: Volume de la chambre interne : 11 pi3à 38 x 20 x 26 pouces (L x P x H) Intérieur
CAPACITÉ: Volume de la chambre : 127 litres Dimensions de la chambre : 18 La x 24 H x 18 Lo
CAPACITÉ: Tranches irrégulières jusqu’à 300mm avec billes de soudure ou site de soudure de fil Tranches de verre, céramique, superposées,
CAPACITÉ: Irradiation sur une section de tranche : 310 mm Ø Irradiation sur toute la surface : 382 mm Ø Dimension de
CAPACITÉ: Carte électronique de la tranche Conversion pour compatibilité avec carte ALPS Cadre de maintien du film jusqu’à 300mm Capacité