Capacités de l’équipement Primaxx fxP (VHF) Procédé par groupe de tranche (jusqu’à 25) Taux de gravure de 0.1 à 10
CAPACITÉ: Isopode – élimination des résistances in situ Bande in situ pour la prévention de la corrosion Élimination des polyimides
CAPACITÉ: Module de gravure diélectrique Conception de chambre sur mesure pour augmenter la stabilité du processus Densité de plasma nécessaire
CAPABILITY: Metal etch module Patented high density plasma source incorporating a radial coil design
CAPACITÉ: Module SI DRIE Source de plasma double brevetée avec zones de plasma découplées primaires et secondaires contrôlées indépendamment Excellente
CAPACITÉ: Choix des sources de plasma Le gax de formage à 3.5% offre l’avantage de la catalyse pour la génération