Capacités de l’équipement Primaxx fxP (VHF) Procédé par groupe de tranche (jusqu’à 25) Taux de gravure de 0.1 à 10

Notre aligneuse sans masque DW-3000 atteint un débit supérieur à 30 plaquettes par heure (1 tête laser). Puisque cet équipement

Le stealth dicing est une méthode de découpage à sec des tranches par laquelle la lumière d’un laser est envoyée

CAPACITÉ:     Épaisseur du film: 135 ± 6,7 nm et 300 ± 45 nm Non-uniformité de l’épaisseur de la tranche: 1%

CAPACITÉ:     Taille de la tranche: 200 mm Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1200 µm Plage de température: 100 –

CAPACITÉ:     Épaisseur d’oxyde thermique: 140 ± 6 nm et 900 ± 20 nm Non uniformité de l’épaisseur de la tranche:

CAPACITÉ:     Épaisseur du film: 300 ± 30 nm et 2000 ± 200 nm Non-uniformité de l’épaisseur de la tranche: 2,5%

CAPACITÉ:   Épaisseur du film: 330 ± 15 nm, 1550 ± 50 nm et 2050 ± 75 nm Non-uniformité de l’épaisseur

CAPACITÉ:     Taille de la tranche: 200 mm Plage d’épaisseur des tranches: 300 – 1400 µm Matériau de la tranche: silicone,

CAPACITÉ:     Isopode – élimination des résistances in situ Bande in situ pour la prévention de la corrosion Élimination des polyimides